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首頁-產(chǎn)品展示-工業(yè)及半導(dǎo)體檢測解決方案-晶圓缺陷光學(xué)檢測設(shè)備-AWL系列半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī)

半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī)

產(chǎn)品型號:AWL系列

簡要描述:半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī)是由高精度光學(xué)檢測顯微鏡搭載全自動晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)組成,支持4-12寸的晶圓尺寸,可輕松實(shí)現(xiàn)多角度、全視野的宏觀檢查、以及晶圓微觀細(xì)節(jié)的高清捕捉,可對半導(dǎo)體過程工藝中的關(guān)鍵參數(shù)、缺陷問題進(jìn)行有效監(jiān)控,是晶圓來料檢測和工藝控制流程缺陷分析的高效利器。

  • 企業(yè)實(shí)力

    Enterprise Strength
  • 有效保修

    Valid Warranty
  • 質(zhì)量保障

    Quality Assurance

詳細(xì)介紹

AWL系列半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī),兼具穩(wěn)定性和安全性,能夠安全可靠的傳送晶圓,適合于前道到后道工程的晶圓檢查

一個(gè)晶圓在經(jīng)過一系列復(fù)雜工序后最終變成多個(gè)IC單元,期間晶圓需要依賴搬運(yùn)機(jī)在處理站之間執(zhí)行快速、精確的傳送作業(yè)。納米級厚度的晶圓很容易在傳送過程中損壞,而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等。
SOPTOP擁有AWL046、AWL068、AWL812三種機(jī)型,多類配置,分別可適用于 4/6 英寸,6/8英寸、8/12英寸的晶圓檢測,適應(yīng)范圍廣、搭配靈活 。
AWL系列半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī)可自由設(shè)置的檢查模式,充分符合人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),操作舒適、簡便。
1.360°宏觀檢查:
AWL系列具有宏觀檢查手臂,可以實(shí)現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉(zhuǎn),更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面最大傾斜角度70°,晶背 1 最大傾斜角度 90°,晶背 2最大傾斜角度 160°,利用旋轉(zhuǎn)功能、傾斜角度,可以目視檢查整個(gè)晶圓正反面及邊緣。
2.人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì):
LCD 顯示屏,可為操作者提供更直觀的視覺體驗(yàn),可清晰的顯示當(dāng)前檢查項(xiàng)目及次序,調(diào)試參數(shù)一目了然。手動快速釋放真空載物臺可提高操作者的舒適度和工作效率。
3.精密微觀檢查:
采用專業(yè)半復(fù)消色差金相物鏡,可滿足明場、暗場、DIC、偏光等多種觀察方式。全新電動控制系統(tǒng),可排查 μm 級異常,諸如孔未開出,短路,斷路,沾污,氣泡,殘留等。
4.AWL 應(yīng)用領(lǐng)域:
 

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